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　　3 LCoS的關(guān)鍵技術(shù)

　　綜上所述，LCoS是LCD與LSIC相結(jié)合的結(jié)晶產(chǎn)物。故它具有該兩大行業(yè)的一般技術(shù)特征。但它的特殊結(jié)構(gòu)與機理又決定其特殊的技術(shù)要求與特征。

　　在制造LCoS過程中，除需原有的液晶和半導(dǎo)體常規(guī)成熟的工藝與技術(shù)外，還需如下一些的關(guān)鍵技術(shù)。

　　3.1特殊的材料技術(shù)

　　（1）特殊液晶混合配方材料

　　配制該材料是為了適用于投影電視光源投射時的溫度，應(yīng)能在50℃較高溫度下正常工作。為滿足視頻圖像顯示的需求，顯示材料應(yīng)有較快的響應(yīng)速度。為能與僅有1~2μm的盒厚相匹配，顯示材料應(yīng)具有較高的介電常數(shù)等。

　　（2）超常平整度、高導(dǎo)電率、高透射率及低膨脹系數(shù)的氧化銦錫（ITO）玻璃基板

　　LCoS的液晶盒是由硅片和玻璃基板封接而成，故所用的玻璃基板的膨脹系數(shù)需接近于硅片的膨脹系數(shù)。由于盒厚僅1~2μm，故表面應(yīng)很平整，又由于光學(xué)和驅(qū)動上的需求，其表面的ITO膜層應(yīng)是高透射率及高導(dǎo)電率。

　　3.2特殊的工藝技術(shù)

　　（1）在制作硅片上

　　①需在單晶硅基片上制成X-Y像素矩陣下的有源矩陣；

　　②需在每個有源像點上制成一個要有一定一致性的補償電容；

　　③制作遮光層；

　　④制作1~2μm的盒厚襯墊；

　　⑤像素表面化學(xué)拋光；

　　⑥像素表面蒸鍍反光層；

　　⑦硅片上的外引線連接。

　　（2）在制作液晶盒上

　　①特殊零件的凈化操作；

　　②1~2μm盒厚的控制與封接技術(shù)；

　　③理想的液晶分子定向工藝技術(shù)；

　　④薄盒的液晶灌注技術(shù)；

　　⑤顯示模塊制造工藝技術(shù)。

　　3.3特殊的設(shè)計技術(shù)

　　特殊的設(shè)計技術(shù)包括液晶與IC的綜合設(shè)計與制版。

　　3.4特殊的檢測技術(shù)

　　特殊的檢測技術(shù)是控制LCoS質(zhì)量之關(guān)鍵，LCoS需有一些不同于普通IC和LCD的特殊電參數(shù)與光參數(shù)的檢測技術(shù)。還需有專業(yè)測試分析軟件，其中包括數(shù)據(jù)回放軟件、時域分析軟件及頻域分析軟件。

　　3.5特殊的配套技術(shù)

　　LCoS的顯示必需借助配套的光路系統(tǒng)方能實現(xiàn)。按不同的用途，可有如下各種方式，它們對LCoS至關(guān)重要。

　　（1）投影系統(tǒng)（前投式或背投式）

　　長壽命、高效率、高色溫及色還原性佳的光源；

　　起偏光與檢偏光系統(tǒng)；

　　分色鏡及循環(huán)性光掃描系統(tǒng)；

　　光路放大、消像差及消色差短焦距光學(xué)鏡頭；

　　光路高利用率的設(shè)計；

　　高精密結(jié)構(gòu)設(shè)計與加工；

　　降溫與控溫系統(tǒng)；

　　屏幕設(shè)計與制造技術(shù)。

　　（2）隨身看顯示裝置

　　將LCoS顯示的小型圖像借助光學(xué)裝置放大成一個直視式大屏幕虛像，是LCoS實現(xiàn)顯示的另一種方式。該裝置可制成比眼鏡還小，使用時可像眼鏡一樣戴在眼前，經(jīng)光學(xué)裝置放大即可將LCoS的顯示畫面在人的眼前放大成一幅大屏幕虛像。可采用單目顯示，用于計算機、個人數(shù)字處理機及通信等產(chǎn)品上；亦可采用雙目顯示，制成眼罩式電視、立體電視及虛擬現(xiàn)實（VR）顯示等。可將其簡便地裝入隨身攜帶的包中，便于隨時拿出來觀看。其光學(xué)裝置的關(guān)鍵技術(shù)如下：

　　① 紅、綠、藍三基色光循環(huán)性掃描裝置；

　　② 起偏與檢偏裝置；

　　③ 消色差與消像差短焦距光學(xué)鏡頭；

　　④ 微型精密結(jié)構(gòu)的設(shè)計技術(shù)。

　　上述關(guān)鍵技術(shù)有些是可從其他技術(shù)中借鑒或移植過來，而有些則必需進行創(chuàng)新。實際上，上述關(guān)鍵技術(shù)在國內(nèi)外研制與開發(fā)LCoS過程中業(yè)已獲得滿意的解決。


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